低温等离子体技能在废气处理中的使用随着工业经济的发展，石油、制药、油漆 、印刷和涂料等行业发生的挥发性有机废气也日渐增多 ，这些废气不只会在大气中逗留较长的时刻，还会分散和漂移到较远的当地，给环境带来严重的污染，这些废气吸入人体，直接对人体的健康发生极大的损害；别的工业烟气的无控制排放使全球性的大气环境日益恶化，酸雨(首要来源于工业排放的硫氧化物和氮氧化物) 的损害引起了各国的重视。因为大气受污染而酸化，导致了生态环境的破坏，严重灾祸频频发生 ，给人类造成了巨大损失。因而选择一种经济 、可行性强的处理办法势在必行。
等离子有机废气净化器工作原理是采用高压发生器构成低温等离子体，在均匀能量约5eV的大量电子效果下 ，使经过净化器的苯、甲苯、二甲苯等有机废气分子转化成各种活性粒子，与空气中的O2结合生成H2O、CO2等低分子无害物质 ，使废气得到净化。
在处理过程中，当有机气体进入冷离子体反响室时 ，气体被均匀分配到等离子反响室（PRC）。反响室分成149根六边形管子 ，每根管子的中央有一根冠状电线，与反响室独立隔开 。经过高压线对反响室导通可调节高压，高压导通到管子里的管状电线上。由电线至管壁发生放电现象。
一旦放电，等离子体电子就与气体分子相碰击 ，发生化学性活性核素，就是通常所说的急进和负荷载体。此外，还具有微型静电沉淀器的功用，该装置能够除尘。
同时注入环境或者二级气体来优化反响室的湿度和温度挂号 ，与此同时参加离子来改善反响室内的反响。这种冷离子体处理办法使有机气体在低温下进行“氧化”。
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